过程里，可以看见那几个工程师脸上的笑容越来越盛。

到了最后，其中一个工程师忍不住站起来：“成功了，我们成功了，光刻精度完全达到了设计要求！”

这个时候，不等王道林说话，原本坐着的徐申学自己就站起来快步走了过去。

然后看向屏幕里的大片让人看一眼就头晕的密密麻麻的晶体管电路图。

王道林也跟上来：“终于是成功了，徐董，我们没有辜负您的期望，这duv干式光刻机，我们总算是做出来了！”

“只要现在的基本性能达到了设计指标，哪怕后续还存在一些问题，我们也可以后续慢慢改进，逐步提升销量，良率，然后用于实际生产！”

徐申学道：“好，好的很！”

“辛苦大家了，今天晚上我做东，大家都要来，我们不醉不归！”

“然后，项目获得了成功，而我徐某人呢，除了有几个臭钱外也没其他的了，所有参与该项目研发的研发人员，这个月的绩效一律三倍发放，技术骨干另有奖金和期权奉上！”

“除了整机项目外，各子系统的研发团队也一应如此！”

“了解我的人都知道，我徐申学从不说假大空的话，这笔奖金我相信会让诸多满意的！”

徐申学给钱大方，那可是出了名的……尤其是在一些重点研发领域里给奖金那是给的超级大方。

智云微电子那边搞出来三十二纳米工艺，徐申学一次性就对研发团队发出去了超过三千万的奖金！

光刻机领域里也不例外，徐申学老早就说过，等你们搞出来duv干式光刻机的那一天，就是你们实现财富自由的时候。

多了不敢说，但是整机项目以及各子系统里的核心技术人员，这一次的项目奖金足以让他们在深城买房安家，全款的那种！

只要东西搞出来，哪怕几个亿奖金对于徐申学而言那都不算什么。

和这个duv干式光刻机的巨大意义比起来，这几个亿奖金算个屁！

尽管duv干式光刻机只能用于六十五纳米工艺，但是这东西却是duv浸润式光刻机的前置技术。

大量的子系统都是通用的，或者是改进后就能用的。

这解决的是0-1的问题，后续duv干式光刻机到duv浸润式光刻机，那是1-9的问题。

尽管1-9也非常困难，但是有了这个1打基础，那么后续搞起来才有目标，有头绪啊！

有了这个duv干式光刻机后，徐申学也就能够真正畅想数年后把duv浸入式光刻机弄出来了。

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